Mikrotechnologie-Labor

Dünnschicht-Technologie und Strukturierungen für die Mikrosystemtechnik

Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik haben sich zu Schlüsseltechnologien mit hohem Entwicklungspotential in der Zukunft entwickelt. Mikrotechnologien werden in immer größerem Umfang in der Entwicklung neuer Produkte angewandt. Im Mikrotechnologielabor der FH Brandenburg können alle wesentlichen Schritte von der Dünnschichttechnologie bis zur Strukturierung und Charakterisierung von Funktionselementen ausgeführt werden.

Ausstattung:
• Reinraum Klasse 10.000 (an Arbeitsplätzen Klasse 100)
• Dünnschichttechnologie (thermische und Elektronenstrahlbedampfung, RF-Sputtern)
• Maskierung und Photolithographie
• Nasschemische Ätztechnik
• Trockenätzen mit Ionenstrahl und Plasmaätzer
• Bonder und Sondentaster
• Strukturinspektion durch optische und Elektronenmikroskopie (REM, TEM, STM)
• Spektrometrie (UV-Vis bis IR)
• Umfassende prozessbegleitende elektrische und optische Messtechniken

Leistungsangebot:
• Entwurf und Parametermodellierung für Dünnschichtsensoren, optische Schichten, Schichtsysteme, elektr. Funktionsschichten
• Entwicklung und Prototypfertigung von Dünnschichtfunktionselementen
• Optimierung einzelner Verfahrensschritte, Erprobung verschiedener Materialsysteme und technologischer Verfahren
• Messtechnische Bewertung mikrostrukturierter Bauelemente