Laser-/Plasma- und Dünnschichttechnologie

Leistungsangebot:
• Entwicklung und Strukturierung von neuartigen organoelektronischen Funktionsschichten
• Plasmatechnologie-Anwendungen
• Lasertechnologische Anwendungen (Bohren, Trennen, Schneiden, Mikrostrukturieren)
• Dünnschichtdiagnostik (optisch, elektrisch, mechanisch)
• Sensorentwicklung
• Materialprüfung

Ausstattung:
• Beschichtungsanlagen ( Verdampfen, Sputtern, Spincoating, CVD-OMBD)
• Langmuir-Blodgett-(LB)-Labor
• Elektrische Messtechnik (TSC, Impedanzspektroskopie, Strom-Spannungs-Kennlinien, Time of Flight)
• Interferometrie
• Spektroskopie (UV-VIS-NIR, FTIR IR, PL,TL)
• Ellipsometrie
• Plasmonenspektroskopie
• ps-Laserlabor (u. a. zur Oberflächencharakterisierung, SHG SFG)
• Chemielabor
• Laserworkstations (Excimer, Nd:YAG, CO2)
• DBD-Plasmareaktoren