Mikrosystemtechnik

Themenschwerpunkte sind Sensorik, Aktuatorik, Mikromechanik und dazugehörige Messplätze. Die Ausstattung ermöglicht Forschung, Muster- und Kleinstserienfertigung sowie den Bau von speziellen Meßplätzen. Die Forschung ist anwendungsbezogen ausgerichtet. Die Mikrosystemtechnik wird bestimmt durch das Zusammenspiel von Sensoren, Aktuatoren und Signalverarbeitung inclusive der Systemarchitektur und Verbindungstechnik. Sie wird von uns als eine Kombination aus Mikromechanik und Mikroelektronik verstanden.

Ausstattung:

Labor
• Ätzeinrichtung zum Nassätzen mikrotechnischer Substrate
• Laseranlage — Mikrotrennen und -schweißen, Druckluftstrahlanlage
• Mikroskope mit Videomesssystem
• Prüfeinrichtung zur Charakterisierung von Mouldmassen statisch / dynamisch
• Mikro-Bruchtesteinrichtung zur Bestimmung der mechanischen Biegefestigkeit von Chips
• Videomesseinrichtung

Reinraum:• Sputteranlge 6“• Schichtdickenmessgerät für transparente Schichten von 1 μ bis 20 μ• Lithografietechnik: Lackschleudern, Hotplate,

Belichtungseinheit

Leistungsangebot:
• Nassätzen
• Lasertrennen und -schweißen
• Druckluftstrahlen mikrotechnischer Substrate
• Videovermessung planarer und dreidimensionaler Strukturen
• mechanische Eigenschaften von Kunststoffen der Mikrosystemtechnik
• Dickenmessung transparenter Schichten
• Beschichten durch Sputtern
• Lithografisches Strukturieren